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液晶腐蚀减薄清洗机
型号：CGB—XX-X系列，品牌：华林嘉业—CGB⑴整机采用德国/合资磁白色PP板焊接而成，本机每槽可同时清洗2（非标）个花篮。本设备外型美观，耐酸性能好，操作方便，运行，是半导体生产线理想的硅片清洗设备。 ⑵本设备由机架部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构成。⑶工艺过程全自动，机械手在槽间转换靠PLC来控制，美国导轨和机械手来满足工艺时序。⑷除装片和取片需人工外，其余工艺动作均由机械手来实现，适用于连续批量生产。⑸机
