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产品简介
OWT-200采用PHYS技术，对透明、半透明、不透明几乎所有的材料的厚度，TTV，LTV,弯曲度，平整
度进行无接触测量，其对透明、半透明材料的高精度测量的性价比在同类测试仪器中是无可比拟的。
特征
■无接触无损伤测量
■高度及重复性
■测量材料范围广，透明、半透明、不透明几乎所有材料的
厚度/弯曲度/平整度/LTV/TTV
■抗干扰强，稳定性好
■强大的工控机控制和大屏幕显示
■一体化设计操作更方便，系统稳定
■为晶圆硅片关键生产工艺提供的无接触测量
■超高测试速度
技术指标
■测试尺寸：50mm-200mm.
■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um
■ 厚度测试精度： /-0.1um
■ 厚度重复性精度：0.050um
■ TTV 测试精度: /-0.1um
■ TTV重复性精度: 0.01um
■ Warp/Bow精度: 0.2um
■ Warp/Bow重复度: 0.5um
■测量时间: <100秒
■ 材料：透明、半透明、不透明几乎所有的材料
■ 尺寸: 560X650X400mm
■ 电源：220V 50HZ 300W
主要客户：欧洲、美洲、台湾等地区蓝宝石生产企业
