SlimKIC 2000 简单化了曲线测量,通过把工艺归纳为一个单一的数据— Process Window Index? (PWI),这样的话你就可真正地知道你的曲线到底有多好了。简单化的用户操作界面指导操作员贯穿于整个曲线测量过程,把潜在的不正确炉子设置降到了较低并减少了出错率。
曲线归纳成一个单一的数据
为了准确的归类曲线,KIC软件使用了工艺制程窗口(PWI)。PWI通过使用了一个简单的数字对这个曲线符合工艺窗口进行了数据化和客观化的体现。通过在可选的适合工艺窗口的曲线的比较和排列,PWI可协助你得到较优化工艺曲线。越小的PWI,就意味着你的工艺效率越高、越稳定。 (细节清参考PWI data sheet)